半導體作為全球最重要的一個產業(yè),每年為經濟貢獻幾千億的產值。生產半導體需要很多設備,包括蝕刻機、封裝設備、沉積設備、測量設備等,當然最重要的設備就是光刻機了,因為它太難造了。目前全球能制造半導體設備的企業(yè)并不多,以歐美日為主,中國也能制造一些中低端的設備,但性能和國外領先水平還有差距,一起來看看全球的那些頂尖半導體設備廠商,它們有哪些牛掰的產品。
一、ASML
荷蘭ASML公司,是總部設在荷蘭Veldhoven的全球最大的半導體設備制造商之一,向全球復雜集成電路生產企業(yè)提供領先的綜合性關鍵設備。ASML為半導體生產商提供光刻機及相關服務,TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,生產效率最高,應用最為廣泛的高端光刻機型。目前全球絕大多數(shù)半導體生產廠商,都向ASML采購TWINSCAN機型半導體上市公司,例如英特爾(Intel),三星(Samsung),海力士(Hynix),臺積電(TSMC),中芯國際(SMIC)等。
ASML的產品線分為PAS系列,AT系列,XT系列和NXT系列,其中PAS系列光源為高壓汞燈光源,現(xiàn)已停產,AT系列屬于老型號,多數(shù)已經停產。市場上主力機種是XT系列以及NXT系列,為ArF和KrF激光光源,XT系列是成熟的機型,分為干式和沉浸式兩種,而NXT系列則是現(xiàn)在主推的高端機型,全部為沉浸式。ASML旗下機臺設備不斷推陳出新,在1984和1989年分別推出PAS 2000和PAS 5000機臺;1990年推出PAS 5000 Stepper/Scanner;2000年推出Twinscan曝光機系統(tǒng);2010年進入EUV系統(tǒng)機臺。
除了目前致力于開發(fā)的TWINSCAN平臺外,ASML還在積極與IMEC, IBM等半導體公司合作,開發(fā)下一代光刻技術,比如EUV(極紫外線光刻),用于關鍵尺度在22納米甚至更低的集成電路制造。目前ASML已經向客戶遞交若干臺EUV機型,用于研發(fā)和實驗。同時,基于傳統(tǒng)TWINSCAN平臺的雙重曝光等新興技術,也在進一步成熟和研發(fā)過程當中。07年末三星(Samsung)宣布成功生產的36納米閃存,基于的便是雙重曝光技術。
提到ASML最牛的產品還是光刻機,目前市場上提供量產商用的光刻機廠商有三家:ASML, 尼康(Nikon),佳能(Canon)。 根據(jù)2007年的統(tǒng)計數(shù)據(jù),在中高端光刻機市場,ASML占據(jù)大約60%的市場份額。而最高端市場(例如沉浸式光刻機),ASML大約目前占據(jù)80%的市場份額。不過,競爭對手尼康也在奮力追趕,主要優(yōu)勢在于相對較低的價格。2018年ASML發(fā)布了第二季度財報,公司銷售額同比增長了三成,超過三十億美金,EUV光刻機為它帶了了巨大利潤,因為只有ASML能做出來。
二、應用材料公司
應用材料公司是一家半導體和顯示制造設備商,應用材料公司成立于1967年,2017財年,應用材料公司營業(yè)額達到145億美元,在17個國家設有90個分支機構,全球員員工人數(shù)18400人。擁有超過11,900專利。1984年,應用材料公司在北京設立了中國客服中心,成為第一家進入中國的國際芯片制造設備公司。通過長期參與中國的高科技制造業(yè),應用材料公司為半導體、先進顯示以及太陽能光伏制造行業(yè)提供設備與服務。
應用材料公司的腳步也隨著中國半導體工業(yè)和集成電路產業(yè)的發(fā)展向前邁進。應用材料公司于1997年正式在中國注冊獨資公司。中國公司總部也已落戶上海浦東張江高科技園區(qū),在北京、天津、蘇州和無錫設有辦事處和零配件倉庫,并把上海作為全球技術培訓中心之一。隨著中國經濟的迅猛發(fā)展和穩(wěn)定增長,應用材料公司對中國半導體工業(yè)和集成電路產業(yè)的發(fā)展和市場遠景滿懷希望和信心并做出長期的承諾。
應用材料公司不僅在設備、技術和服務上以全球統(tǒng)一的質量體系來高質量、高水平地服務我們在中國的客戶,例如在上海的上海華虹NEC半導體制造有限公司、上海先進半導體制造有限公司、中芯國際集成電路制造(上海)有限公司、宏力半導體制造有限公司;應用材料公司還積極推動中國半導體工業(yè)和集成電路產業(yè)的發(fā)展。應用材料公司于1994年起與上海市科學技術委員會共同設立“上海-應用材料研究與發(fā)展基金”。至今,應用材料公司已經投入了200多萬美元的??钣脕碇С执髮W和研究機構進行微電子和信息技術的基礎研究和應用開發(fā)。
2018年8月17日,應用材料公司公布了其截止于2018年7月29日的2018財年第三季度財務報告。與2017財年第三季度相比,應用材料公司的凈銷售額攀升19%至44.7億美元?;贕AAP,公司毛利率提高至45.4%,營業(yè)收入增長23%至12.6億美元,占凈銷售額的28.1%。GAAP每股盈余(EPS)增長38%至1.17美元。
三、科林研發(fā)
科林研發(fā)是面向全球半導體行業(yè)提供晶圓制造設備和服務的主要供應商??屏盅邪l(fā)30多年來始終致力于推進半導體制造??屏盅邪l(fā)是等離子刻蝕和單晶圓清洗技術與市場份額的領先廠商,科林研發(fā)憑借全面的專業(yè)技術解決目前最尖端的半導體工藝難題??屏盅邪l(fā)總部在加利福尼亞州弗里蒙特,并有一個遍及北美、亞洲和歐洲的全球服務網絡,滿足全球客戶群多種多樣和不斷變化的需求。
科林研發(fā)主要設計、制造、銷售、維修及服務使用于積體電路制造的半導體處理設備,此外,還提供單晶圓清潔技術的多樣組合,旗下子公司Customer Support Business Group提供可強化設備效能及效率的產品與服務。公司提供服務的范圍包括客戶服務、備用零件的供應、產品升級、產品蝕刻、沉積、去除光阻及清潔等服務,并還制造、銷售一系列的研磨、疊置及精密拋光等設備。2017年科林研發(fā)董事會首度在美國以外的地區(qū)召開,并且選擇在中國臺灣舉行??屏盅邪l(fā)執(zhí)行長Martin Anstice表示,對科林來說臺灣是很重要的市場,到臺灣舉行董事會可以讓董事更了解市場及貼近客戶,同時科林也會擴大在臺灣的零組件采購,明年會在臺灣生產新機臺設備。
2018年7月26日,科林研發(fā)公司公布2018會計年度第4季(截至2018年6月24日為止)財報,營收季增8%至31.25928億美元;非依照一般公認會計原則(Non-GAAP)每股稀釋盈余季增11%至5.31美元。作為半導體制造設備和服務給全球半導體行業(yè)的領先供應商,科林研發(fā)開發(fā)創(chuàng)新的解決方案,幫助客戶構建更小、 更快、 功能更強大、 更節(jié)能的電子設備。
四、東京威力科創(chuàng)
東京威力科創(chuàng)創(chuàng)立于1951年4月,總部位于日本東京,全職雇員11,355人(2014年),是日本的半導體成產廠商,日本最大半導體成膜、蝕刻設備公司。東京威力科創(chuàng)主要產品為半導體成膜設備、半導體蝕刻設備和用來制造平板顯示器液晶的設備。同類產品比重在日本占第一位,在世界上占第二位。
東京威力科創(chuàng)目前市值約為238.38億美元。未來將是所謂的物聯(lián)網(IoT)和大數(shù)據(jù)推動半導體領域的需求,半導體產業(yè)的增長周期將與以往大不相同。2013年9月24日,美國半導體設備和服務供應商應用材料(Applied Materials)計劃透過換股方式作價90億美元收購東京威力,合并后的新公司市值約290億美元,應材將持新公司68%股權、東京威力持其余32%股權。但因合并案未獲得未獲得美國司法部認可,已于2015年4月終止。
據(jù)悉,2017年4月至2018年3月財報顯示,因數(shù)據(jù)中心用存儲器需求大增,提振芯片制造設備銷售強勁,加上平面顯示器(FPD)制造設備銷售也大增,激勵合并營收年增41.4%至11,307.28億日元,合并營益暴增80.6%至歷史新高的2,811.72億日元,合并純益也暴增77.4%至歷史新高的2,043.71億日元。
五、迪恩士
迪恩仕總部位于日本。從印前、印刷及相關設備到電子產業(yè),迪恩士已在各個領域擴大了其業(yè)務范圍。 在“發(fā)展思路”的公司的原則指導下,以核心圖像處理技術為杠桿,不斷努力開創(chuàng)著新的業(yè)務和產品。半導體和液晶產業(yè)市場情況的變化(周期)往往是高度活躍的,這也造成了迪恩仕公司的經營成果的上下波動。為了使3年中期經營目標更容易實現(xiàn),在2006年3月,迪恩仕推出了“展望2008年( 2006年度至2008年) ”綜合計劃, 一個3年期的建立在“邁向新的發(fā)展階段”主旨基礎上的經營計劃。這項計劃的目標為持續(xù)的發(fā)展,這將使迪恩仕成為投資者眼中有吸引力的企業(yè)集團,同時也表達了迪恩仕對社會的承諾。
廸恩仕科技提供各領域之半導體晶圓設備,包含洗凈、蝕刻、顯影/涂布等制程用途,其中洗凈設備于半導體業(yè)界具有極高之市占率,同時隨著半導體制程技術進步不斷推陳出新設備產品。迪恩仕現(xiàn)在正在發(fā)展和生產印刷領域及世界領先的高科技領域的印刷技術數(shù)字化設備,如電子領域的半導體制造設備,F(xiàn)PDs (平板顯示器)和印刷電路板。
廸恩仕科技中國地區(qū)總公司在上海外高橋保稅區(qū)投資注冊的迪恩士電子科技(上海)有限公司,是以生產銷售半導體設備(如硅片清洗機)為主的企業(yè),在世界各地都設有分公司和代表處,目前已經擁有全世界領先水平的技術和設備,用戶及相關服務體系已經延伸到世界各地。公司提供從機臺、零件的販賣到完善的機臺維修,始終籍由高品質的設備和杰出的服務讓客戶達到最大的滿意。并御用多年的精密影像處理技術經驗來發(fā)展,以提供半導體工業(yè)高效能的設備。提供高精密的影像設備,一系列的精密洗凈設備,以及膜厚測量設備在半導體業(yè)界獲得了很高的評價。此外,為了順應顧客的需求,廸恩仕科技成立了實驗和研發(fā)中心,以不斷地開發(fā)嶄新的設備領航于業(yè)界。
六、日立全球先端科技
日立高新技術公司是日立集團旗下的一家儀器設備子公司。全球雇員超過10000人,在世界上26個國家及地區(qū)共有百余處經營網點。企業(yè)發(fā)展目標是"成為獨步全球的高新技術和解決方案提供商",產品與服務涵蓋領域廣泛,包括半導體制造、生命科學、電子零配件、液晶制造及工業(yè)電子材料。其中,生命科學領域產品包括:電子顯微鏡、原子力顯微鏡和分析儀器(色譜、光譜、熱分析)等。日立高新技術集團在擁有全面解決方案基礎上,將進一步提高客戶滿意度,為廣大用戶提供更優(yōu)質、更及時的服務,成為行業(yè)先端的領導者。
日立全球先端科技的主要產品包括半導體設備、電子顯微鏡、液晶面板相關設備,F(xiàn)PD設備包括包括Array、Cell、Module、彩色濾光片之制程設備,包含玻璃基板表面檢查設備、曝光機、濕制程設備。.等及醫(yī)療分析設備。
日立將日立集團在百余年發(fā)展歷程中始終遵循的“企業(yè)理念”、“日立創(chuàng)業(yè)的精神”,以及為明確日立未來理想形態(tài)而重新制定的“日立集團愿景”,定義為日立的 “Mission(使命)”、 “Values(價值)”、 “Vision(愿景)”。由此三者共同構成的,就是“日立集團核心價值觀”體系。日立將舉集團之力,以“日立集團核心價值觀”為基石,不斷為社會發(fā)展貢獻力量。
七、尼康
提到尼康,人們第一印象是相機,的確,它是是日本的一家著名相機制造商,成立于1917年,當時名為日本光學工業(yè)株式會社。1988年該公司依托其照相機品牌,更名為尼康株式會社。尼康其實也是分步重復半導體生產設備(分檔器)的制造商。公司還生產護目鏡,眼科檢查設備,雙筒望遠鏡,顯微鏡,勘測器材。
尼康作為世界上僅有的三家能夠制造商用光刻機的公司,似乎在這個領域不被許多普通人知道,許多人只知道尼康的相機做的好,卻不知道尼康光刻機同樣享譽全球。光刻機作為整個集成電路制造最關鍵的設備,其設備的性能直接影響到整個微電子產業(yè)的發(fā)展。全球范圍內最先進的沉浸式光刻機也只有ASML、尼康和佳能三家能夠生產,單臺價格高達幾千萬美元。尼康的G-line、I-line步進式光刻機(stepper)、投影式光刻機在全球晶圓廠大量使用。
所有人都知道英特爾在全球半導體制造業(yè)中較為先進,但新型半導體工藝的實現(xiàn)并不是Intel一家就能做到的,背后默默貢獻半導體設備的功臣卻往往不為人所知,Intel決定22nm光刻工藝設備的供應商,最終入圍的是荷蘭ASML Holding NV和日本尼康兩家。其實在更早的45nm世代,ASML和尼康也曾雙雙成為Intel的光刻設備供應商,但在32nm節(jié)點上Intel首次應用了沉浸式光刻技術,只有尼康一家提供相關設備。
八、佳能
佳能是日本的一家全球領先的生產影像與信息產品的綜合集團,從1937年成立以來,經過多年不懈的努力,佳能已將自己的業(yè)務全球化并擴展到各個領域。佳能的產品系列共分布于三大領域:個人產品、辦公設備和工業(yè)設備,主要產品包括照相機及鏡頭、數(shù)碼相機、打印機、復印機、傳真機、掃描儀、廣播設備、醫(yī)療器材及半導體生產設備等。
佳能半導體設備股份有限公司引進Canon所制造的半導體?液晶用制造裝置,提供臺灣客戶生產高科技產品,秉持完善且全方位的服務,并以提升客戶產能并達成客戶目標為主要使命。臺灣的半導體液晶產業(yè)的成功經驗受到全世界矚目。公司自成立接近二十年,對于能夠對此二產業(yè)提供直接的協(xié)助深感驕傲。今后也將與客戶秉持著良好的伙伴關系共同成長,持續(xù)不斷地對臺灣產業(yè)提供最大的貢獻。
多年來,佳能一直在為半導體前道工藝提供光刻設備。作為一家關鍵光刻設備供應商,佳能引領功率器件和CMOS圖像傳感器的翻新設備市場。為了奪取超越摩爾設備這塊額外的市場份額,佳能公司提出了新的戰(zhàn)略,提供比其前道光刻設備價格更低的全新超越摩爾設備,旨在改進其產品組合。
九、北方華創(chuàng)
北方華創(chuàng)是由北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司(以下簡稱“七星電子”)和北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司(以下簡稱“北方微電子”)戰(zhàn)略重組而成,是目前國內集成電路高端工藝裝備的領先企業(yè)。北方華創(chuàng)秉承七星電子和北方微電子多年高科技研發(fā)實力,實現(xiàn)資源整合和優(yōu)勢互補,以科技創(chuàng)新為基點,著眼未來,致力于加快推進北方華創(chuàng)向新型制造業(yè)的戰(zhàn)略轉型;致力于成為國際領先的高端電子工藝裝備和精密電子元器件兩大基礎電子產品服務商;致力于提升人類智能生活品質;致力于實現(xiàn)中國“智造強國”的夢想藍圖。
2018年10月27日,據(jù)北方華創(chuàng)最新公布的三季報顯示,前三季度營業(yè)收入21.0億元,同比增長35.59%;歸屬于上市公司股東的凈利潤1.69億元,同比增長110.12%?;久抗墒找?.3682元,真空設備和新能源鋰電設備增長迅速,這是由于國內的新能源汽車銷量的增長所致。
北方華創(chuàng)擁有半導體裝備、真空裝備、新能源鋰電裝備及精密元器件四個事業(yè)群,為半導體、新能源、新材料等領域提供解決方案。公司現(xiàn)有四大產業(yè)制造基地,營銷服務體系覆蓋歐、美、亞等全球主要國家和地區(qū)。北方華創(chuàng)的產品包括生產集成電路設備、光伏設備、TFT設備、真空設備、鋰離子電池設備等。
十、上海微電子裝備
目前全球能生產高端光刻機的企業(yè)不多,以美日為主,中國近年來開始重視設備開發(fā),也出現(xiàn)了一些迎難而上的企業(yè),上海微電子裝備就是其中一個。
公司成立于2002年,主要致力于大規(guī)模工業(yè)生產的投影光刻機研發(fā)、生產、銷售與服務半導體上市公司,公司產品可廣泛應用于IC制造與先進封裝、MEMS、TSV/3D、TFT-OLED等制造領域。公司致力于以極致服務,造高端產品,創(chuàng)卓越價值,全天候、全方位、全身心地為顧客提供優(yōu)質產品和技術服務。
截至2018年12月,上海微電子裝備直接持有各類專利及專利申請超過2400項,同時通過建設并參與產業(yè)知識產權聯(lián)盟,進一步整合共享了大量聯(lián)盟成員知識產權資源,涉及光刻設備、激光應用、檢測類、特殊應用類等各大產品技術領域,全面覆蓋了上海微電子裝備產品的主要銷售地域。
上海微電子裝備已通過ISO27001信息安全、ISO9000質量管理和ISO14001環(huán)境管理等體系的國際認證,力求為客戶提供持續(xù)、穩(wěn)定、高品質的產品和服務,并履行一個優(yōu)秀的高科技企業(yè)的社會責任,先后被評為“上海市專利工作和知識產權示范企業(yè)”、“國家級知識產權示范企業(yè)”、“國家企業(yè)技術中心”。
目前這些全球的半導體設備廠商仍是非常賺錢的,因為隨著物聯(lián)網的發(fā)展,芯片相關企業(yè)對設備的需求還在增加,現(xiàn)在國內企業(yè)占比較小,只是在中低端市場上有一定市場份額,技術突破還是它們未來的重點。據(jù)相關數(shù)據(jù)統(tǒng)計,2016年中國半導體設備銷售收入總計57.33億元,同比增長21.5%,這個收入還不到應用材料一年的營收,未來的增長空間很大。
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