近日，中共中央政治局常委、國務(wù)院副總理韓正在湖北省武漢市調(diào)研指出，要加大新技術(shù)、新產(chǎn)品商業(yè)化應(yīng)用力度，提升產(chǎn)業(yè)集成水平，集中力量攻克“卡脖子”技術(shù)，增強(qiáng)關(guān)鍵基礎(chǔ)材料自主保障能力。
在中國科學(xué)院“率先行動(dòng)”計(jì)劃第一階段實(shí)施進(jìn)展發(fā)布會(huì)上，中科院院長(zhǎng)白春禮表示：面臨美國對(duì)中國高科技產(chǎn)業(yè)的打壓，我們希望在這方面能做一些工作。我們把美國“卡脖子”的清單變成我們科研任務(wù)清單進(jìn)行布局，比如航空輪胎、軸承鋼、光刻機(jī)，還有一些關(guān)鍵的核心技術(shù)、關(guān)鍵原材料等，我們爭(zhēng)取將來在第二期，聚焦在國家最關(guān)注的重大的領(lǐng)域，集中我們?nèi)旱牧α縼碜觥?/p>
方正證券指出，光刻機(jī)作為前道工藝七大設(shè)備之首(光刻機(jī)、刻蝕機(jī)鍍膜設(shè)備、量測(cè)設(shè)備、清洗機(jī)、離子注入機(jī)、其他設(shè)備)，價(jià)值含量極大，在制造設(shè)備投資額中單項(xiàng)占比高達(dá)23%，技術(shù)要求極高，涉及精密光學(xué)、精密運(yùn)動(dòng)、高精度環(huán)境控制等多項(xiàng)先進(jìn)技術(shù)。目前光刻機(jī)國產(chǎn)替代將迎來新的曙光，尤其是IC前道制造領(lǐng)域，將初步打破國外巨頭完全壟斷的局面，實(shí)現(xiàn)從0到1的突破。關(guān)注舉國之力助力國產(chǎn)替代的光刻產(chǎn)業(yè)鏈，一是光刻機(jī)核心組件；二是光刻配套設(shè)施：包括光刻膠光刻機(jī)唯一上市公司，光刻氣體，光掩模版，光刻機(jī)缺陷檢測(cè)設(shè)備，涂膠顯影設(shè)備等。
相關(guān)上市公司中，賽微電子：公司生產(chǎn)的MEMS可應(yīng)用于光刻機(jī)透鏡系統(tǒng)部件，產(chǎn)品服務(wù)于全球光刻機(jī)巨頭ASML。
晶方科技：ASML為公司參與并購的荷蘭Anteryon公司的最主要客戶之一。
奧普光電：長(zhǎng)春光機(jī)所控股下的唯一上市平臺(tái)光刻機(jī)唯一上市公司，90納米光刻機(jī)曝光系統(tǒng)是長(zhǎng)春光機(jī)所聯(lián)合其他單位在國家專項(xiàng)資金的支持下開展的研發(fā)項(xiàng)目。
藍(lán)英裝備：公司控股子公司為荷蘭光刻機(jī)制造商ASML提供精密清洗解決方案。
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